一文帶你認識SEM掃描電子顯微鏡的結(jié)構(gòu)組成
SEM掃描電子顯微鏡是介于透射電鏡和光學顯微鏡之間的一種微觀形貌觀察手段,可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進行微觀成像。它由電子光學系統(tǒng)、信號收集及顯示系統(tǒng)、真空系統(tǒng)和電源系統(tǒng)組成,應用于生物、醫(yī)學、材料和化學等領(lǐng)域。SEM掃描電子顯微鏡的結(jié)構(gòu)組成:1、電子光學系統(tǒng)組成:電子槍、電磁透鏡、掃描線圈和樣品室等部件。作用:獲得掃描電子束、作為產(chǎn)生物理信號的激發(fā)源。2、信號收集和顯示系統(tǒng)信號收集:二次電子和背散射電子收集器、吸收電子顯示器、X射線檢測器(波譜儀和能譜儀)顯示系統(tǒng):顯...